东宇东庵（无锡）热处理系统有限公司告诉你DLC涂层显微结构

在DLC涂层的众多品种中，有一种较为常见的Me-DLC涂层，长久以来在工业领域有着广泛的使用。

Me-DLC涂层具有很低的内应力，因此，该种涂层具有很好的涂层结合力。Me-DLC涂层中可以参加多种元素，如Ti、Nb、Ta和B等，但现在常用的方法是参加钨元素（W），形成W-DLC（也可以是W-C:H或许a-C:H:W）。由于与其他元素相比，W-DLC涂层具有相对较低的冲突系数（通常在0.1～0.2，干式），从而具有很好地耐磨损功能，以及杰出的耐滚动接触疲劳功能。豪泽公司出产的此类Endurance涂层典型的堆积温度低于160℃，可以在不软化热敏性钢（如100Cr6）的前提下完成涂层。现在，Endurance涂层一个典型的使用是涂层高标准滚柱轴承。

含氢DLC涂层

DLC类涂层当中普遍的是经过各种PA-CVD（等离子辅助CVD，经过射频、微波或其他等离子激活方式）制备的含氢类DLC。含氢类DLC涂层具有相对高的显微硬度（一般在2000～3000HV）和低的冲突系数（0.05～0.15，干式）。经过PA-CVD方法制备的含氢DLC涂层外表粗糙度十分低。它们已经成为汽车引擎零部件，如梃杆、活塞杆和各种柴油喷射体系零部件涂层的工业标准。

无氢类DLC涂层

另一类DLC涂层，ta-C涂层正在越来越引起人们的爱好。由于此类涂层具有十分高的硬度及十分好的耐冲突功能。另外，无氢类ta-C涂层结合某些润滑剂可以明显削减冲突，例如在尼桑汽车的发动机气阀组织上就有此类技术的使用。此类DLC涂层一般经过石墨靶的电弧蒸发来获得。涂层的特点是具有十分高的硬度值，一般在4000～7000HV，并且几乎不含氢。所以常把此类涂层叫做无氢类DLC涂层。

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